Phenylglycoluril-Vernetzer CAS 721969-01-3 – Lieferant mit ultrahoher Reinheit für ArF- und KrF-Lithographie

Spezifikation von Imidazo[4,5-D]Imidazole-2,5(1H,3H)-Dione, Tetrahydro-1,3,4,6-Tetrakis(Methoxymethyl)-3a-Methyl-6a-Phenyl-

Spezifikation 1: Reinheit ≥ 99,5 %, Gesamtmetallverunreinigungen ≤ 500 ppb

Spezifikation 2: Reinheit ≥ 99,9 %, Einzelmetallverunreinigung ≤ 10 ppb

Name	Imidazo[4,5-d]Imidazole-2,5(1H,3H)-dione, tetrahydro-1,3,4,6-tetrakis(methoxymethyl)-3a-methyl-6a-phenyl-
CAS-Nummer	721969-01-3
Summenformel	C₁₉H₂₈N₄O₆
Strukturformel
Anwendungen	Anwendung in Halbleitermaterialien, Fotolacken sowie im ArF- und KrF-Fotolackbereich.
Reinheit	Reinheitsgrad 1: ≥ 99 %
Reinheitsgrad 2: ≥ 99 %, Gesamtmetallverunreinigungen ≤ 50 ppb
Verpackungsspezifikation	kg/Beutel, 25 kg/Fass

Anwendungen vonImidazo[4,5-D]Imidazole-2,5(1H,3H)-Dione, Tetrahydro-1,3,4,6-Tetrakis(Methoxymethyl)-3a-Methyl-6a-Phenyl-

In Halbleitern und Fotolacken wird es gezielt als ultrahochreiner Vernetzer in ArF- und KrF-Fotolackformulierungen für die Fertigung von Chips mit fortschrittlichen Technologieknoten eingesetzt.

FAQ

F1: Welche ultrareinen Qualitäten werden für ArF/KrF-Fotolacke angeboten?

A: Zwei Spezifikationen: ≥ 99,5 % (Gesamtverunreinigungen ≤ 500 ppb) und ≥ 99,9 % (Einzelmetall ≤ 10 ppb).

F2: Mit welchen Analysengeräten werden Spurenmetalle geprüft?

A: Für die Spurenmetallanalyse aller Elemente wird hochempfindliche ICP-MS eingesetzt.

F3: Wie kann man Proben im Rahmen einer Vertraulichkeitsvereinbarung (NDA) anfordern?

A: Nach Abschluss einer NDA werden ultrareine Fotolackproben innerhalb von 5 Werktagen versandt.