Spezifikation 1: Reinheit ≥99%, Gesamtmetallverunreinigungen ≤500 ppb
Spezifikation 2: Reinheit ≥99,5%, Einzelmetallverunreinigung ≤10 ppb
| Name | Hexakis(methoxymethyl)melamine |
| CAS-Nummer | 3089-11-0 |
| Summenformel | C₁₅H₃₀N₆O₆ |
| Strukturformel | ![]() |
| Anwendungen | Wird in Halbleitermaterialien, Antireflexbeschichtungen (BARC), Advanced Packaging und Wafer-Level-Packaging verwendet. |
| Reinheit |
Grade 1: ≥99 %Grade 2: ≥99%, Gesamtmetallverunreinigungen ≤50 ppb |
| Verpackungsspezifikation | kg/Beutel, 25 kg/Fass |
In der Halbleiterfertigung wird es als kritisches Vernetzungsmaterial in Bottom-Antireflexbeschichtungen (BARC), Advanced Packaging und Wafer-Level-Packaging eingesetzt.
Das gesamte Chemikaliensortiment wird von HydroTransformer unabhängig entwickelt. Dieses Produkt zeichnet sich insbesondere durch hochreine Lagerbestände aus, um eine reibungslose Abwicklung von Großbestellungen zu gewährleisten.
Q1: Wie lauten die Spezifikationen für Verunreinigungen und Metallionen?
A: Erhältlich in Qualitäten mit ≥99% (Gesamtverunreinigungen ≤500 ppb) und ≥99,5% (Einzelmetall ≤10 ppb).
Q2: Wie werden Partikelzahlen für BARC und Packaging kontrolliert?
A: Gefiltert durch 0,1-μm-Membranen und unter Stickstoff versiegelt, um die Partikelgrenzwerte der Fab zu erfüllen.
Q3: Wie lauten die Lager- und Verpackungsstandards?
A: 1-kg-Beutel oder 25-kg-Fässer; empfohlen wird eine kühle, versiegelte und gekühlte Lagerung.
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